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日樱;
分辨率; 表面形状; 测定仪; 加工精度;
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机译:支持5nm和1nm的高速,高精度加工的分辨率
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机译:高分辨率光电和摄影测量三维表面几何形状的采集和分析。
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机译:错误:“具有电容等效厚度的晶体三元稀土氧化物,低于1nm的高k应用”Appl。物理。吧。 88,172107(2006)
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