一种用于碳化硅晶圆贴片的自动清洗机

摘要

本实用新型公开了一种用于碳化硅晶圆贴片的自动清洗机，包括机架，机架沿其宽度方向依次设置有上料槽、超声波清洗槽和下料浸泡槽，机架沿其宽度方向滑动设置有用于取放化硅晶圆贴片的机械手且机械手位于上料槽的上方，上料槽和下料浸泡槽上均设置有用于与设置在机架上的排水管道连通的排水口和用于与设置在机架上的高位预热水箱连通的第一进水口，超声波清洗槽上设置有用于与高位预热水箱连通的第二进水口、用于与设置在机架上的药剂管道连通的药剂口和用于与设置在机架上的循环组件连通的抽液口、排液口，本实用新型的目的在于提供一种用于碳化硅晶圆贴片的自动清洗机，实现自动化清洗，有效提高清洗效率，实现自动加液和转移碳化硅晶圆贴片。