水平式晶圆电化学沉积设备电化学液循环系统

摘要

本实用新型是水平式晶圆电化学沉积设备电化学液循环系统，其结构是副槽位于机架内一侧，溢流槽位于机架内另一侧上方且与副槽相通，溢流槽和副槽上方罩设有顶板，电化学沉积槽位于溢流槽内且顶部穿过顶板，电化学沉积槽侧壁设有与溢流槽相通的溢流口，电化学沉积槽底部中心设穿过溢流槽底部的进液排液口，进液排液口通过带有循环泵的循环管道连接副槽。本实用新型的优点：结构设计合理，电化学液体由副槽经过循环泵从循环管道由进液排液口泵入电化学沉积槽内并通电，对产品进行有效充分电化学沉积，处理时电化学液体可从溢流口溢流到溢流槽内，流回副槽。配合水平式晶圆电化学沉积设备，可实现电化学液的有效循环输送，改善了处理效果。