一种用于晶圆测试提升测试效率的吹气装置

摘要

本实用新型提供一种用于晶圆测试提升测试效率的吹气装置，包括进气导管、调节阀、进气仓、气流引导仓、压缩弹簧、限位卡扣、固定横板，气流引导仓上设置进气，进气仓外周设置压缩弹簧，进气仓顶部依次穿过固定横板、限位卡扣并连接调节阀，调节阀连接进气导管。本实用新型的用于晶圆测试提升测试效率的吹气装置，通过利用干燥的压缩空气，清洁晶圆测试过程中探针反复接触芯片产生的探针异物粘连，从而大大降低了人力成本，减少探卡因清洁的损伤延长使用寿命，降低测试成本，提升测试效率提高测试质量，且还具有稳定、持久、可靠的优势。