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一种自热式碳碳气相沉积炉

摘要

本实用新型属于碳碳复合材料生产技术领域,公开了一种自热式碳碳气相沉积炉;包括炉体和与炉体连接的沉积气体进气管,炉体内设置有用于放置碳碳预制体的罐体,罐体的顶部设置有上导电板,罐体的底部设置有下导电板,碳碳预制体位于上、下导电板之间并与上、下导电板紧密接触;上、下导电板均连接有电极;本实用新型通过直接将直流电源通到碳碳预制体上,实现了碳碳预制体自身产生稳定的热量,实现快速加热,同时沉积气源只有接触到高温的碳碳预制体才会分解,通过碳碳预制体自身加热,减小了沉积过程碳碳预制体外壁的沉积,提高了沉积气体的利用率。

著录项

  • 公开/公告号CN215856325U

    专利类型实用新型

  • 公开/公告日2022-02-18

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 山西中电科新能源技术有限公司;

    申请/专利号CN202121848922.X

  • 申请日2021-08-09

  • 分类号C23C16/54(20060101);C23C16/26(20060101);

  • 代理机构14109 太原高欣科创专利代理事务所(普通合伙);

  • 代理人崔雪花;冷锦超

  • 地址 030032 山西省太原市小店区综改示范区太原唐槐园区唐槐路5号

  • 入库时间 2022-08-23 04:55:34

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