以100倍的沉积速度进行类金刚石碳成膜的大气压等离子化学气相沉积装置

摘要

日本庆臆义塾大学理工学部的铃木哲也教授开发了一种大气压等离子化学气相沉积（CVD）装置，该装置可以将类金刚石碳（DLC）在大气压下成膜为薄膜状，宽50cm的薄膜在通过1对电极间的空间过程中向表面成膜。与采用真空容器的方法相比，膜的沉积速度提高100倍，制造成本降低为原来的1／100。