一种用于碱背多晶黑硅片的清洗装置

摘要

本实用新型公开了一种用于碱背多晶黑硅片的清洗装置，涉及多晶黑硅片生产技术领域。本实用新型包括储液桶、支撑架和若干清洗盘，支撑架为中空圆环状架体结构，支撑架固定在储液桶外表面的上部，支撑架周侧面设有若干外凸壳，支撑架内底面通过回转支承转动连接有转圈。本实用新型通过设置吸附盘能够对硅片进行吸附固定，同时通过设置可旋转的吸附盘能够带动硅片进行转动，并且在清洗盘一侧设置喷头，能够实现离心清洗，能够有效提高硅片的清洗效率，同时设置多个清洗座，并且配置适配的传动机构，能够使用一个驱动电机同时控制多个吸附盘的旋转，从而大大提高清洗效率，并且具备节能的作用。