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一种用于金属切削刀具和工模具涂层的CVD涂层设备

摘要

本实用新型涉及金属切削刀具和工模具涂层技术领域,且公开了一种用于金属切削刀具和工模具涂层的CVD涂层设备,包括控制主体、楼梯、中和站、冷凝阱支架、平台板支架、第一导轨、第二导轨、废弃排放管与气体通道,所述控制主体包含有第一电控柜、第二电控柜、气体柜与液体柜,本实用新型通过冷却罩可减少反应腔体的热辐射,减少周围部件的热辐射和老化速度,集成转运升降机配合,提高反应腔体的提升和移动速度及精度,冷凝阱可以对废气进行降温,将气态废气冷凝至固态存放在冷凝阱内,减少中和站的中和负担,中和站可以对酸性废气进行中和,减少废气排放,有利于保护环境,电控柜侧装空调完全杜绝了空调冷凝水的产生,保护了电控柜内电器元件的安全。

著录项

  • 公开/公告号CN215668197U

    专利类型实用新型

  • 公开/公告日2022-01-28

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 常州艾恩希纳米镀膜科技有限公司;

    申请/专利号CN202122335603.5

  • 发明设计人 王彤;

    申请日2021-09-26

  • 分类号C23C16/54(20060101);C23C16/44(20060101);

  • 代理机构11353 北京市惠诚律师事务所;

  • 代理人周理工

  • 地址 213100 江苏省常州市武进国家高新技术产业开发区凤翔路16号

  • 入库时间 2022-08-23 04:21:34

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