一种用于掩模版制程相邻区域转运装置

摘要

本实用新型公开了一种用于掩模版制程相邻区域转运装置，包括转运仓，转运仓包括一呈罩状的转运仓壳体和置于转运仓壳体内的掩膜版放置区，转运仓壳体顶部设置有向转运仓壳体内吹入洁净空气的风淋系统，转运仓壳体的侧面上设置有进版仓门和出版仓门，进版仓门和出版仓门分别朝向掩膜版制程中两相邻的加工工序的加工设备，进版仓门和出版仓门上均分别设置有自动卷帘门；风淋系统包括由上而下依次设置的风机过滤机组和过滤器；本实用新型的转运装置，通过本转运仓，实现掩膜版在相邻两工序之间周转，有效的避免了掩膜版在周转时被灰尘污染的问题，提高掩膜版的质量，加快掩膜版的制程。