一种石英坩埚及制备该石英坩埚的模具

摘要

一种石英坩埚，包括内侧透明层和外侧的气泡层，在所述气泡层靠近所述透明层一侧被配置有若干凸台，所述凸台能够增加所述气泡层靠近所述透明层一侧的强度以抵制所述透明层在拉晶过程中的变形幅度。本实用新型还提出一种制备该石英坩埚的模具。本实用新型提出的石英坩埚，通过在气泡层靠近透明层一侧增加若干凸点，以提高气泡层靠近透明层一侧的强度，以支撑并降低透明层的变形，即可保证石英坩埚在拉晶过程中热源辐射的均匀性，又可降低透明层和气泡层的变形幅度，提高石英坩埚可靠性。与常规石英坩埚相比，其使用寿命可增加50h以上；同时使拉晶过程中漏硅、渗硅的风险几率降低0.2％。