一种基于谐波探测的微纳材料热电性能原位综合测量装置

摘要

本实用新型公开了一种基于谐波探测的微纳材料热电性能原位综合测量装置，包括：测控系统、工控机和高真空恒温舱；通过测量不同频率下样品及可调电阻箱两端的相位角、基波及谐波电压，结合显微镜测得的样品外形尺寸，可一次性针对同一个样品，直接精确测量样品的ZT、电导率、热导率、热扩散率及塞贝克系数，且各个参数中间并无依赖关系，消除多次制样带来的测量误差甚至错误的结果，测量精度及测量效率更高。