公开/公告号CN215475927U
专利类型实用新型
公开/公告日2022-01-11
原文格式PDF
申请/专利权人 昆山兴宇宏机械科技有限公司;
申请/专利号CN202121906617.1
发明设计人 刘建蔚;
申请日2021-08-16
分类号B65B13/18(20060101);
代理机构
代理人
地址 215300 江苏省苏州市昆山市玉山镇北门路3888号昆山国际模具城模具材料区13号楼2室
入库时间 2022-08-23 03:49:44
机译: 晶圆盒,晶圆盒盒和带有迷你环境盒的迷你环境仓装载口布置以及带有晶圆盒的晶圆盒盒
机译: 晶圆储存盒,粉尘产生的预防方法和晶圆储存方法
机译: 从晶圆保持部件中跳出的方法,晶圆中的部分裂纹的检测方法,在CMP装置中晶圆中的跳出的方法,CMP装置中晶圆中的部分裂纹的检测方法以及在晶圆中的部分跳动的检测方法脱离晶圆生产商