公开/公告号CN215496654U
专利类型实用新型
公开/公告日2022-01-11
原文格式PDF
申请/专利权人 昆山兴宇宏机械科技有限公司;
申请/专利号CN202121839402.2
发明设计人 刘建蔚;
申请日2021-08-09
分类号H01L21/673(20060101);
代理机构
代理人
地址 215300 江苏省苏州市昆山市玉山镇北门路3888号昆山国际模具城模具材料区13号楼2室
入库时间 2022-08-23 03:46:07
机译: 晶圆储存盒,粉尘产生的预防方法和晶圆储存方法
机译: 防静电晶圆盒
机译: 防静电小滤饼晶圆盒