公开/公告号CN215496708U
专利类型实用新型
公开/公告日2022-01-11
原文格式PDF
申请/专利权人 乐山希尔电子股份有限公司;成都希尔芯科技有限公司;
申请/专利号CN202121218426.6
发明设计人 邓华鲜;
申请日2021-06-02
分类号H01L25/07(20060101);H01L23/04(20060101);H01L23/488(20060101);H01L23/495(20060101);
代理机构51211 成都天嘉专利事务所(普通合伙);
代理人毛光军
地址 614000 四川省乐山市高新区南新东路3号
入库时间 2022-08-23 03:46:07
机译: 一种用于设计和制造一种光学装置的方法,包括基于通过所述方法获得的基于纳米结构的非周期性基质的近场光学调制和光学器件的非周期性纳米结构的光学装置的光学装置
机译: 在半导体器件上使用一种用于基于垫料测量来校准测量系统,以测量结构元件的尺寸的方法和结构。
机译: 在半导体器件上使用了一种基于垫料测量的用于校准测量系统的方法,用于测量结构元件的尺寸