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一种MEMS传感器及电子产品

摘要

本实用新型提供了一种MEMS传感器及电子产品,MEMS传感器包括上壳体、下壳体、芯片模组及基板;下壳体罩设在基板上,芯片模组位于下壳体内的基板上,上壳体上设有贯通的透气孔,上壳体和下壳体之间夹设有防水透气膜。电子产品包括产品主体和MEMS传感器。本实用新型不仅具备防水防尘性能,而且制作工艺简单、制造成本低、产品可靠性强。

著录项

  • 公开/公告号CN215288008U

    专利类型实用新型

  • 公开/公告日2021-12-24

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 潍坊歌尔微电子有限公司;

    申请/专利号CN202121679207.8

  • 发明设计人 王超;李向光;田峻瑜;方华斌;

    申请日2021-07-22

  • 分类号B81B7/00(20060101);B81B7/02(20060101);

  • 代理机构37255 潍坊正信致远知识产权代理有限公司;

  • 代理人贾宝娟

  • 地址 261031 山东省潍坊市高新区新城街道蓉花社区蓉花路102号歌尔二期工业园10号楼

  • 入库时间 2022-08-23 03:42:13

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