一种基于微流控芯片微泵集成的液体精密控制装置

摘要

本实用新型公开一种基于微流控芯片微泵集成的液体精密控制装置，属于精密设备技术领域。本实用新型所述装置中PMMA(聚甲基丙烯酸甲酯)构成整个阀体，内部网络通道有控制通道和液体通道，通过控制通道的气体的供气压力来控制液体通道的开启与闭合。在TPU膜上使用激光打孔，形成微止回阀从而保持常闭状态和防止回流，两个微止回阀和一个储液室构成微泵；芯片采用热熔键合，这种方式不需要进行任何特殊的化学处理或使用主模。该芯片集成度高，无泄漏量，精确度高，具有更好的耐久性和耐压性。该装置使用简单，携带方便，能够实现不同剂量液体的输送。