末端执行器测定模块及利用该模块的末端执行器监控装置

摘要

公开一种末端执行器测定模块及利用该模块的末端执行器监控装置。本实用新型通过安装在晶圆从设备前端模块(EFEM)进入半导体工艺装置的供应口而对末端执行器的移动路径进行测定，并利用所测定到的移动路径对末端执行器的扭曲进行监控，从而可以自动确认机械臂的误操作的发生以便于对机械臂的维护以及保养进行管理。