公开/公告号CN215088487U
专利类型实用新型
公开/公告日2021-12-10
原文格式PDF
申请/专利权人 通富微电子股份有限公司;
申请/专利号CN202121102691.8
发明设计人 赵锋;
申请日2021-05-21
分类号B05C5/02(20060101);H01L21/67(20060101);
代理机构11226 北京中知法苑知识产权代理有限公司;
代理人李明;赵吉阳
地址 226004 江苏省南通市崇川路288号
入库时间 2022-08-23 03:11:11
机译: 点胶头,包括点胶头的点胶设备以及使用点胶头的点胶方法
机译: MEMS装置,液体点胶头,液体点胶装置,MEMS装置的制造方法,液体点胶头的制造方法,以及液体点胶装置的制造方法
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