公开/公告号CN215114085U
专利类型实用新型
公开/公告日2021-12-10
原文格式PDF
申请/专利权人 上海高生集成电路设备有限公司;
申请/专利号CN202120923503.1
申请日2021-04-30
分类号F28D7/06(20060101);F28F1/12(20060101);F28F9/00(20060101);F28F19/01(20060101);F28F27/00(20060101);H01L21/67(20060101);
代理机构31434 上海老虎专利代理事务所(普通合伙);
代理人葛瑛
地址 201612 上海市浦东新区康桥路957号12幢4层
入库时间 2022-08-23 03:06:43
机译: 一种用于压缩冷蒸汽的制冷机,其包括可调节冷量的蓄冷器,该制冷机插入冰箱的回路中
机译: 用于生产冷等离子体流的等离子体工具,包括用于输送工艺气体的空心体,频率发生器和用于处理组件内外表面的电压线圈,可避免使用空气介电电容器
机译: 冷却单元,即天然气液化单元,启动方法,涉及在回路中注入清洁气体,在回路中注入填充气体,其中一种填充气体的平均摩尔质量高于另一种填充气体的平均摩尔质量。