一种分子束外延系统的束流遮挡装置

摘要

本实用新型涉及一种分子束外延系统的束流遮挡装置，属于分子束外延设备技术领域。该分子束外延系统的束流遮挡装置包括步进电机、电机安装座、曲柄、连杆、摇杆组件、法兰、波纹管和挡板组件，电机安装座包括制为一体的安装底座和连接板，连接板通过支撑杆与法兰固接，摇杆组件的一侧与法兰铰接，波纹管的一端与法兰固接，波纹管的另一端设有尾端盖，尾端盖与摇杆组件的一侧固接，连杆的一端与曲柄铰接，连杆的另一端与摇杆组件铰接，挡板组件与尾端盖的一侧固接。本实用新型通过步进电机的转动带动曲柄旋转，曲柄将运动传递至摇杆组件，摇杆带动与之相连的波纹管及螺杆摆动从而带动挡板组件摆动，其结构简单可靠、动作反应快、挡板之间互不干涉。