气体混合装置、半导体工艺的气体输运系统和半导体设备

摘要

本实用新型公开了一种气体混合装置、半导体工艺的气体输运系统和半导体设备，其中气体混合装置包括：混合本体，混合本体包括相对设置的进气端和出气端，混合本体内设有匀气腔；至少两个进气口，设置于进气端，每个进气口通过各自的通道与匀气腔连通，其中通道的延伸方向偏离匀气腔的中轴线，以使从通道进入匀气腔内的气流形成旋转气流。本实用新型气体混合装置的通道的延伸方向偏离柱形腔体的中轴线，气体沿着柱形腔体内壁进行旋转，通过旋转来实现气体旋转混流，气体边旋转边流向出气端，能够实现两种或多种气体的充分均匀混合，减小浓度波动，并使通入腔室的气流稳定。