公开/公告号CN214703881U
专利类型实用新型
公开/公告日2021-11-12
原文格式PDF
申请/专利权人 无锡领测半导体有限公司;
申请/专利号CN202120680802.7
发明设计人 吴龙军;
申请日2021-04-02
分类号G01R31/28(20060101);G01R1/04(20060101);
代理机构11297 北京睿博行远知识产权代理有限公司;
代理人张燕平
地址 214000 江苏省无锡市滨湖区华谊路30号
入库时间 2022-08-23 01:50:07
机译: 一种对集成电路结构中的光致抗蚀剂具有高选择性并且对金属蚀刻残留物的去除效果优异的金属蚀刻方法装置
机译: 带有弯曲工作台的颜色检查和调整装置-消除了上光效果,并具有位移和旋转功能
机译: 用于存储和运输货物的海湾,具有一种沿水平旋转轴彼此连接的矩形海湾壁,其中水平轴与垂直旋转轴垂直调整