公开/公告号CN214653834U
专利类型实用新型
公开/公告日2021-11-09
原文格式PDF
申请/专利权人 瑞金市医美环境科技有限公司;
申请/专利号CN202022994382.8
申请日2020-12-14
分类号C02F1/461(20060101);
代理机构
代理人
地址 342500 江西省赣州市瑞金市经济技术开发区经一路西侧(江西源华电气有限公司1#楼展厅)
入库时间 2022-08-23 01:44:49
机译: 评估乘行稳定性的数据处理方法,评估乘行稳定性的数据处理装置和计算机可读存储介质
机译: 数据处理装置和用于分析数据处理装置的稳定性的方法
机译: 基板处理装置,基板处理装置的控制方法,半导体装置的制造方法以及装置状态转换方法,能够提高维护的稳定性