用于吸附晶圆贴片环的机械臂、晶圆运输装置及半导体设备

摘要

本实用新型提供了一种用于吸附晶圆贴片环的机械臂、晶圆运输装置及半导体设备，所述机械臂包括电磁吸盘，所述晶圆贴片环采用含铁的材料制成，所述机械臂通过所述电磁吸盘吸附所述晶圆贴片环。本实用新型提供了一种用于吸附晶圆贴片环的机械臂、晶圆运输装置及半导体设备，创新性地改变了传统机械臂真空吸附的方式，改用带电磁吸盘的机械臂，通过电磁吸盘吸附晶圆贴片环，由于晶圆贴片环采用含铁的材料制成，这样吸附可以保证牢固的吸附效果，并且不会对晶圆贴片环内的晶圆保护膜和晶圆产生任何不利影响。