常压式化学气相沉积机履带速度监测报警装置

摘要

本实用新型涉及一种常压式化学气相沉积机履带速度监测报警装置。它包括带辊和控制器。所述带辊上套有履带。邻近带辊的履带下方有底座。其特点是：底座上有轮座，轮座上有从动轮，从动轮的轮面与途径带辊处的履带表面间呈滚动状相配合。所述轮座上有测速传感器，测速传感器通过导线与控制器相连，控制器上连有蜂鸣器。采用这种监测报警装置，可避免因履带停止运行而导致的晶圆报废情况发生。适用于常压式化学气相沉积机履带速度的监测。