公开/公告号CN209481788U
专利类型实用新型
公开/公告日2019-10-11
原文格式PDF
申请/专利权人 无锡柏斯威科技有限公司;
申请/专利号CN201821968764.X
发明设计人 刘招林;
申请日2018-11-28
分类号
代理机构无锡大扬专利事务所(普通合伙);
代理人郭丰海
地址 214000 江苏省无锡市十八湾路288号湖景科技园20号-2
入库时间 2022-08-22 10:53:40
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-10-11
授权
授权
机译: 常压化学气相沉积系统的感受器冷却方法和常压化学气相沉积装置
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