一种宏微驱动型直线压电电机及其驱动方法

摘要

本发明公开了一种宏微驱动型直线压电电机及其驱动方法，涉及超声电机及微驱动领域。电机包括机架、驱动振子、动子及预紧机构。驱动振子包括金属弹性体、微位移放大弹性体和压电元件，微位移放大弹性体内侧的对称两个凸齿与动子摩擦接触，压电元件沿厚度方向极化。该电机宏驱动方法是振子在相位差为90度的交变电流作用下激励出两个近频、同型、相位差为90度的纵向驻波，合成后在凸齿处形成椭圆形运动轨迹，在预紧力作用下使动子产生宏直线运动。微驱动方法为对压电元件施加直流高电压，使振子产生静变形，通过微位移放大弹性体内侧对称两个凸齿夹持动子产生微直线运动。本发明可在一个电机上同时实现宏微驱动，具有结构简单、工作可靠等特点。