一种抗高过载的电容式MEMS振动环陀螺

摘要

本实用新型公开的一种抗高过载的电容式MEMS振动环陀螺，属于MEMS微机电系统的硅微环形振动结构领域。本实用新型包括振动环谐振子、支撑弹簧、驱动控制电极、检测控制电极。振动环谐振子用于生成角度和角速度，驱动控制电极和检测控制电极间隔对称分布在振动环谐振子外侧，作为电容电极，组成电容式传感器，将位移变化量转换为电容变化量。支撑弹簧将振动环谐振子和玻璃锚点连接。当驱动控制电极的输入信号频率与振动环谐振子的固有频率一致时，能够激励出振动环谐振子的振动。本实用新型采用静电力驱动、电容检测，具有抗高过载性能好、体积小、响应速度快、灵敏度高的优点，能够在后期调整改善其陀螺性能。