一种半导体检测用高灵敏度的激光在线测量仪

摘要

本实用新型公开了一种半导体检测用高灵敏度的激光在线测量仪，包括测量仪本体和防护箱，所述防护箱内腔底部的四角均固定连接有减震箱，所述减震箱内腔的底部固定连接有第一弹簧，所述第一弹簧的顶部固定连接有减震板，所述减震板的顶部固定连接有减震柱，所述减震柱的顶部贯穿至减震箱的顶部并固定连接有放置板，所述放置板的顶部开设有凹槽，所述测量仪本体放置在凹槽中，防护箱内腔的底部固定连接有阻尼器。本实用新型通过测量仪本体、防护箱、减震箱、第一弹簧、减震板、减震柱、放置板、阻尼器、第二弹簧和箱门的配合使用，能够有效的提高测量仪本体的防护性能，保护测量仪本体不受震动或灰尘的影响，提高了测量精度。