穿舱式大型精密装备微振动控制系统

摘要

本实用新型公开了一种穿舱式大型精密装备微振动控制系统，包括承载平台、隔振平台及柱状支撑结构，隔振平台设置于精密装备下方，隔振平台具有安装通孔，承载平台位于精密装备内部并由隔振平台支撑，柱状支撑结构设置于精密装备下方，柱状支撑结构由安装通孔贯穿隔振平台并与精密装备的底部接合以支撑精密装备。本实用新型的穿舱式大型精密装备微振动控制系统，柱状支撑结构由隔振平台上的安装通孔贯穿隔振平台而与精密装备的底部接合，使得隔振平台与精密装备相独立，保证了隔振平台具备足够的设计空间，使得隔振平台的设计不受精密装备的支撑的影响，便于满足隔振性能和维修需求。