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一种双基区结构快速软恢复二极管酸洗设备

摘要

本实用新型公开了一种双基区结构快速软恢复二极管酸洗设备,包括装置框架,所述装置框架的上方设有酸洗箱,所述酸洗箱的底部设有出液管道,所述出液管道的下方设有废料收集箱,所述出液管道插入在所述废料收集箱的内部通过螺纹连接,所述酸洗箱的上方设有防护罩,所述防护罩嵌套在所述酸洗箱的外部,所述防护罩的外部设有气体净化装置,所述气体净化装置的外侧面设有进气口,所述进气口的内部设有连接管道。该一种双基区结构快速软恢复二极管酸洗设备通过增设的气体净化装置能够对酸洗过程中产生废气进行处理后排出,通过增设的废液收集箱能够对产生的废液进行处理后排出,该装置在对二极管进行酸洗加工过程中具有环保功能,值得推广。

著录项

  • 公开/公告号CN213826143U

    专利类型实用新型

  • 公开/公告日2021-07-30

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 安徽联芯半导体有限公司;

    申请/专利号CN202022702056.5

  • 发明设计人 赵萍;

    申请日2020-11-20

  • 分类号B08B3/08(20060101);H01L21/67(20060101);B08B15/04(20060101);B08B3/14(20060101);B08B13/00(20060101);

  • 代理机构

  • 代理人

  • 地址 233200 安徽省滁州市定远县经济开发区标准化厂房

  • 入库时间 2022-08-22 23:22:38

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