公开/公告号CN213842987U
专利类型实用新型
公开/公告日2021-07-30
原文格式PDF
申请/专利权人 广东合科泰实业有限公司;
申请/专利号CN202023234587.2
发明设计人 陈国斌;
申请日2020-12-28
分类号G01N19/04(20060101);H01L21/687(20060101);H01L21/66(20060101);
代理机构44540 深圳市海盛达知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人张立娟
地址 523710 广东省东莞市塘厦镇莆心湖商业街183B号
入库时间 2022-08-22 23:19:42
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