用于离线校准尼康SF120光刻机激光器光轴的装置

摘要

本实用新型公开了用于离线校准尼康SF120光刻机激光器光轴的装置，它涉及激光器校准技术领域。前定位块的侧边设置有两个侧边定位块，前定位块与两个侧边定位块的表面均设置有独立的承载平面台，前定位块与前部的侧边定位块的中部前方由近至远依次放置有近点小孔标记、远点小孔标记；所述的前定位块与前部的侧边定位块之间的距离为20mm，两个侧边定位块之间的距离为100mm，前部的侧边定位块与近点小孔标记之间的距离为300mm，近点小孔标记与远点小孔标记之间的距离不小于4000mm。本实用新型将光刻机内部复杂的光路简化为一条直线，可直观地观察光线的变化，校准操作简便且耗时短，不占用生产设备的时间。