一种单晶炉

摘要

本实用新型提供一种单晶炉，所述单晶炉包括：炉体，所述炉体内部具有中空腔室；坩埚，所述坩埚设置在所述炉体的腔室内部；防漏盘，所述防漏盘设置在所述炉体的腔室内部，并位于所述坩埚的底部；溢流液收集腔，所述溢流液收集腔设置在所述炉体的腔室外部；其中，所述防漏盘设有至少一个溢流孔，所述溢流孔与所述溢流液收集腔之间通过管道连通。本实用新型所提供的单晶炉能够极大提高设备应对溢流风险的能力，减少安全隐患甚至事故的发生，提高设备的稼动率。