一种光刻机的光罩盒锁紧装置及光刻机

摘要

本实用新型涉及半导体技术领域，公开一种光刻机的光罩盒锁紧装置及光刻机，所述光刻机的光罩盒锁紧装置包括：锁止机构，安装于光罩盒的一侧；驱动机构，连接于所述锁止机构，用于驱动所述锁止机构在预设方向上移动；以及控制器，电性连接于所述驱动机构，在光刻机的传动机械臂工作时发出控制指令，以控制所述驱动机构驱动所述锁止机构移动至一位置，使得所述光罩盒固定。本实用新型克服了现有技术中在机械臂取出光罩的过程中移动光罩盒，则可能会损坏正在工作的传动机械臂和光罩盒里的光罩的问题确保了光罩盒的安全。