error analysis; error model; lithography machine; micro-displacement mechanism; orthogonal test; six degrees of freedom;
机译:各种三维间隙关节多程度的平行机构的动态响应分析
机译:一种新型5比自由度平行运动机床的误差建模与敏感性分析
机译:三自由度平移并联运动机的误差分析与优化
机译:光刻机旋能罩阶段六自由度微位移机构的动态误差分析
机译:在极紫外光刻中光罩非平坦性引起的图像放置误差的研究。
机译:同时测量线性位移台五自由度误差运动的激光测量系统的误差分析和补偿
机译:平行连杆机构的动态特性,采用液压缸六自由度的第一报告频率响应分析伺服机构
机译:应用螺旋偏差法计算单自由度机构产生的一般运动的误差