机译:同时测量线性位移台五自由度误差运动的激光测量系统的误差分析和补偿
laser diode multi-degree-of-freedom measurement error motions linear stage;
机译:六自由度运动误差同时测量系统中直线度测量系统误差的补偿
机译:一种用于基于绝对位置距离测量的精密旋转级的6dof几何运动误差的方法
机译:扫描光束激光干涉光刻系统中光学相位差和基片运动引起的同时误差的实时补偿
机译:光束分裂器和位置检测器在最小化线性运动阶段测量五自由度几何误差中的应用
机译:激光光学测量系统及其在坐标测量机在线误差补偿中的应用。
机译:同时测量长线性平台的六自由度几何误差的测量系统设计
机译:使用不同模式的CNC机床线性导轨6dof运动误差的同时测量
机译:粘性子层中激光多普勒测速仪(LDV)测量皮肤摩擦力的测定。系统错误分析