一种基于DOE的聚焦光斑分析的焦斑视觉监测系统

摘要

本实用新型提供了一种基于DOE的聚焦光斑分析的焦斑视觉监测系统，包括激光器、扩束镜、DOE、振镜、场镜、第一反射镜、光线收集器、物镜和CCD相机，在所述激光器前方依次设置扩束镜、DOE、振镜，所述振镜的另一端连接有场镜，所述场镜的前方设置有第一反射镜，所述第一反射镜的透射光路上设有物镜和与镜头连接的CCD相机，反射光路上设有光线收集器。本实用新型有益效果：通过调整物镜的倍率，可以测量任意大小的焦斑，实用性强；极大降低了DOE的安装难度，降低设备调节工作量，改善加工质量；结构简单、性价比高，适合工业大面积推广，巨有很大的市场前景。