一种三自由度平面运动台

摘要

本实用新型公开了一种三自由度平面运动台，其包括一种直线电机，所述直线电机包括线圈和磁铁，所述线圈和磁铁之间按一定的偏置距离进行偏置定位，使所述直线电机的动子可相对于所述直线电机的定子在与所述直线电机驱动方向的垂直方向运动；还包括可相对移动的平台定子和平台动子，所述平台定子上布置有若干所述直线电机，所述直线电机的磁铁部分固定在所述平台定子上，所述直线电机的线圈部分固定在所述平台动子上；或者，所述直线电机的线圈部分固定在所述平台定子上，所述直线电机的磁铁部分固定在所述平台动子上。本实用新型的结构精简紧凑、布局效率高、发热少且定位精度高。