公开/公告号CN212904538U
专利类型实用新型
公开/公告日2021-04-06
原文格式PDF
申请/专利权人 四川大学;
申请/专利号CN202021906522.5
申请日2020-09-03
分类号G01N21/67(20060101);G01N21/01(20060101);G01N1/34(20060101);H02J7/00(20060101);H02M7/537(20060101);
代理机构51224 成都顶峰专利事务所(普通合伙);
代理人杨国瑞
地址 610000 四川省成都市一环路南一段24号
入库时间 2022-08-22 20:37:55
机译: 基于激光诱导等离子体的原子发射光谱仪装置,包括相同结构的半导体制造设备以及使用相同结构制造半导体元件的方法
机译: 使用齿波导的微波激励等离子体处理装置-等离子体反应堆激发的线性微轴等离子体源
机译: 原子激发层的形成方法,原子激发层的形成装置以及磁场测量系统