一种基于红外检测技术的真空镀膜基板温度监控组件

摘要

本实用新型公开了一种基于红外检测技术的真空镀膜基板温度监控组件，包括真空腔体，所述真空腔体内安装有红外探测器，所述真空腔体的腔壁上开设有信号传输窗口，所述信号传输窗口的内侧安装有内无线通信模块，所述所述信号传输窗口的外侧安装有与内无线通信模块配合传输的外无线通信模块；所述内无线通信模块与红外探测器信号传输连接；所述外无线通信模块与控制器信号传输连接。