超细碳材料双模式等离子反应腔室

摘要

本实用新型涉及超细碳材料生产设备领域，公开了超细碳材料双模式等离子反应腔室，包括反应腔室本体，所述反应腔室本体内设置有相配合使用的发生器系统和伺服进料系统；所述发生器系统包括双模式离子发生器，所述双模式离子发生器一端设于所述反应腔室本体内，所述双模式离子发生器另一端设于所述反应腔室本体外并与电源电连接；所述伺服进料系统包括石墨棒和用以驱动所述石墨棒沿其长度方向移动的驱动装置；所述石墨棒一端设于所述反应腔室本体内，所述石墨棒另一端与电源电连接。本实用新型可以根据实际需要调节不同模式以满足不同需求所生产超细碳材料，且可以生产品质较高的超细碳材料。