高频等离子法制取超细氮化钛反应动力学研究

摘要

本文研究了等离子法合成超细氮化钛反应动力学,建立了TiCl_4-NH_3-H_2-N_2系统在高频等离子反应器中气相合成超细TiN粉末的反应动力学模型,对影响反应速度的主要因素进行了分析,为控制TiN产品的质量及对等离子反应器的优化设计提供了理论依据。