高温气相合成超细氮化钛反应速率的研究

摘要

本文研究了等离子法合成超细氮化钛反应动力学,建立了 TiCl4—NH3—H2—N2系统在高频等离子反应器中气相合成超细 TiN 粉末的反应动力学模型,对影响反应速度的主要因素进行了分析,为控制 TiN 产品的质量及对等离子反应器的优化设计提供了理论依据。