复合波长LED光源的光刻直写光学结构及直写光刻机

摘要

本实用新型公开了一种复合波长LED光源的光刻直写光学结构及直写光刻机，属于光刻机设计技术领域，包括：光源和用于把光源出射光馈送到成像系统的光路系统，光源包括波长不同的第一LED光源和第二LED光源，光路系统包括二向色镜、照明透镜组以及第一光棒、第二光棒；第一LED光源的出光面和第二LED光源的出光面分别与第一光棒的入射端面和第二光棒的入射端面紧贴布置，二向色镜布置在第一光棒出射光路径和第二光棒出射光路径的交点处，照明透镜组布置在二向色镜的出射光路径上，照明透镜组的出射光馈送至成像系统。对于不同的光敏感材料，由于采用了双波长的光学结构，相比于传统的单一波长的光刻直写设备，双波长可以满足混合波长油墨的需求。