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掺铊碘化铯薄膜表面缺陷处理方法

摘要

本发明涉及薄膜材料制备技术。本发明公开了一种掺铊碘化铯薄膜表面缺陷处理方法。本发明的技术方案是,掺铊碘化铯薄膜表面缺陷处理方法,包括以下步骤:a、将掺铊碘化铯薄膜放入热风循环干燥箱;b、在热风循环干燥箱中充氮气,排出箱内气体,使箱内形成洁净的环境;c、设定箱内温度为20~50℃,利用鼓风系统驱动箱内氮气循环,保证箱内温度均匀;d、达到设定时间,取出掺铊碘化铯薄膜。本发明处理过程简便,无需外加其他措施改变薄膜结构,处理后的样品孔洞、间隙等微小缺陷消失,薄膜的连续致密性和表面结构明显变好,对提高掺铊碘化铯薄膜的连续致密性和空间分辨率等性能有很重要的意义。

著录项

  • 公开/公告号CN103305925B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2016-08-10

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 电子科技大学;

    申请/专利号CN201310269684.0

  • 申请日2013-06-28

  • 分类号

  • 代理机构成都宏顺专利代理事务所(普通合伙);

  • 代理人李顺德

  • 地址 611731 四川省成都市高新西区西源大道2006号

  • 入库时间 2022-08-23 09:43:31

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2018-07-17

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C30B 33/02 授权公告日:20160810 终止日期:20170628 申请日:20130628

    专利权的终止

  • 2016-08-10

    授权

    授权

  • 2016-08-10

    授权

    授权

  • 2013-10-23

    实质审查的生效 IPC(主分类):C30B33/02 申请日:20130628

    实质审查的生效

  • 2013-10-23

    实质审查的生效 IPC(主分类):C30B 33/02 申请日:20130628

    实质审查的生效

  • 2013-09-18

    公开

    公开

  • 2013-09-18

    公开

    公开

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