基板载具、基板载具阵列和气相沉积装置

摘要

本实用新型实施例提供了一种基板载具、基板载具阵列和气相沉积装置，其中，所述基板载具包括：基板载板；第一固定部，设置在所述基板载板的第一表面，用于固定基板；第二固定部，设置在所述基板载板的第二表面，用于固定另一基板，所述第二表面与所述第一表面相对。