用于常压扩散炉管的石英舟

摘要

本实用新型提供了一种用于常压扩散炉管的石英舟，包括：两个石英圆盘、若干根石英舟槽棒；两个所述石英圆盘分别固设于若干根所述石英舟槽棒的两端部；所述石英舟槽棒上设有若干个槽位，所述槽位用于存放晶圆片；所述石英舟还包括至少一个石英加强筋；所述石英加强筋位于所述两个石英圆盘之间位置；所述石英加强筋的两端分别固设于两根所述石英舟槽棒上。本实用新型提供的用于常压扩散炉管的石英舟在高温下长期使用时，中部不易变形，避免了晶圆片从石英舟上掉下来，造成产品的报废。