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公开/公告号CN212032989U
专利类型实用新型
公开/公告日2020-11-27
原文格式PDF
申请/专利权人 江苏启微半导体设备有限公司;
申请/专利号CN202020033593.2
发明设计人 邓信甫;蔡嘉雄;徐铭;王雪松;陈佳炜;
申请日2020-01-08
分类号H01L21/67(20060101);
代理机构31105 上海智力专利商标事务所(普通合伙);
代理人杜冰云
地址 226299 江苏省南通市启东经济开发区林洋路2015号
入库时间 2022-08-22 18:15:08
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