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一种湿法工艺设备辅助排气装置及湿法工艺设备排气系统

摘要

本实用新型公开了一种湿法工艺设备辅助排气装置及湿法工艺设备排气系统,所述湿法工艺设备辅助排气装置包括组合使用的转接机构,所述转接机构包括转接管道、湿法端连接法兰及厂端连接法兰,所述转接管道为L型管道结构,转接管道的两个端口分别安装有所述湿法端连接法兰及厂端连接法兰,所述湿法端连接法兰所述厂端连接法兰的安装方向垂直,不同的所述转接机构间湿法端连接法兰与转接管道之间的距离不同。本实用新型的辅助排气装置采用组合使用的转接机构,转接机构的主体呈L型,可以应用于不同厂端管道的安装,不同的管道之间不会相互影响,整体能够形成有序的排列方式,不影响设备的使用及调试过程。

著录项

  • 公开/公告号CN212032989U

    专利类型实用新型

  • 公开/公告日2020-11-27

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 江苏启微半导体设备有限公司;

    申请/专利号CN202020033593.2

  • 申请日2020-01-08

  • 分类号H01L21/67(20060101);

  • 代理机构31105 上海智力专利商标事务所(普通合伙);

  • 代理人杜冰云

  • 地址 226299 江苏省南通市启东经济开发区林洋路2015号

  • 入库时间 2022-08-22 18:15:08

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