Gemenex全自动湿法批处理工艺设备

摘要

Gemenex量产线是全自动的湿法批处理工艺设备，可用干去除硅片线锯损伤、预清洗、表面制绒（纹理化）和PSG去除。该设备具有优化的制绒工艺能力，保证连续刻蚀速率的排出／进给装置能最小化化学品的消耗。独特的干燥技术通过最小化硅片破损和干燥点来获得更高的成品率。其低维护要求和长寿命周期的元件的设计，可降低用户成本。设备还具有减少能量和水消耗的能力。可通过TCP／IP或MODEM载入工艺参数。